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TOC降解器

简介


     超纯水制备中,TOC(总有机碳)的降解至关重要,采用UV-185nm低压高能紫外技术,并结合UV-254nm紫外线杀菌器,能够通过高剂量的UV-185nm紫外光催化,在水中产生羟基自由基,对水中的有机物进行氧化降解,以降低水中的TOC含量。



去除TOC的工作原理


     TOC降解器中装有可产生185nm波长的紫外灯管,当纯水用185nm紫外光直接照射时,水中TOC与光子直接碰撞的几率很低,靠水中TOC杂质直接吸收185nm紫外光光子能量再分解并形成C02逸出是很困难的,所以可以认为185nm紫外光降解水中TOC时185nm紫外光先与水作用,引起水的均裂反应, 因而185nm紫外光照射水时,在185nm紫外光所能照射的范围内可以产生中间体HO-,H·和eaq(水合电子),这些活性中间体再与水中有机物发生亲电、亲核或电子转移反应,引起水中有机物的降解和矿化,并使其TOC浓度降低。



为什么会使用185nm波长


     根据中国目前超大规模集成电路的生产和研究水平的需要,为使TOC的含量小于15μg/L或小于3μg/L,国内首先在高纯水设备中用185nm紫外线照射,使水中TOC降低到小于3μg/L,解决了兆位电路及大直径硅片用高纯水的关键技术难题。若不用185nm紫外线照射,目前高纯水中TOC较好的只能做到20~50μg/L。

     185nm紫外线是一种波长较短、能量较高的超紫外线,其能量相当于6.7eV,而一般用于高纯水中的为254nm波长的紫外线,其能量相当于4.88eV,对于这两种紫外线去除有机物,效果有所不同,下图列出某些有机物化学键的键能及相应的波长。



TOC降解器图片



化学键的键能表


化学键

键能

化学键

键能

/kj.mol-1

/eV

波长/nm

/kj.mol-1

/eV

波长/nm

C-C

C=C

C≡C

C-F

C-CI

C-H

C-O

347.5
615.5
812.2
489.8
326.6
414.5
360.1

3.6
6.4
8.4
5.1
3.4
4.3
3.7

344
194
148
243
364
288 

335

C-O

C-N

C-N

C-S

N-O

O-H

Si-O

728.5
305.6
824.8
477.3
594.5
467.1 

467.1

7.6
3.2
6.4
4.9
6.2
4.8
4.8

163
387
194
253
200
258
258

  

     根据上图所列各种化学键,若用185nm紫外线,除C≡C,C=O键外,其余化学键的键能均小于6.7eV,均能被破坏。若用254nm紫外线,其键能为4.88eV,那么C=C、C≡C、C-F、C=O、C=N、C=S、N-O键的键能均大于4.88eV,都不能被破坏,而O-H、Si-O键的键能与254nm紫外线接近,也不易被完全破坏,因此许多有机物在185nm紫外线下被破坏,而在254nm波长的紫外线下不能被破坏,这就是185nm紫外线更能有效地降低水中的TOC的道理。利用这一键能理论,以185nm紫外线照射高纯水应降低TOC,使兆位电路用水TOC下降到小于3μg/L,并在中国成功地用于ULSI和直径200mm硅片及硬盘磁头生产中,效果很好。



主要功能及特征


      a、用于超纯水制配中TOC降解。

      b、有超高的杀菌功效。

      c、紫外线TOC降解设备必须安装精制混床,以保证不增加新的TOC及恢复水中的电解氯。

      d、TOC降解的幅度取决于水中TOC的构成情况及紫外线TOC降解设备剂量设计。紫外线TOC降解设备能够使TOC降到10ppb。


结构:承压筒体


材质:筒体:304材质。316L材质可选



现场



应用:EDI生产线

客户:通用电气水处理技术(无锡)有限公司

核心优势:脱除TOC效率大于60%,性能稳定可靠

概述:处理水量15T/H

项目概况:通用电气公司(GE)是多元化服务性公司,世界500强之中位居前列。



检验生产调试包装

不锈钢材质分析及检验


沛德水处理公司检测部门人员对过滤器法兰进行检测


    

    沛德水处理公司在采购TOC降解器原材料后,检测部的检测人员都会对原材料进行严格检测。沛德水处理高价购买(20万)的手持式合金分析仪,具有革命性的GOLDD技术,极高的灵敏度与检测精度。购买手持式合金分析仪可谓是一种昂贵的投资,沛德水处理注重产品质量控制,因此材料检验一定要好的检测设备。

 

焊接效果

 

不锈钢紫外线消毒器法兰焊接效果图

 

焊接 

 

不锈钢紫外线消毒器法兰内角焊接效果图

 

机械抛光

 

机械抛光

 

电解抛光

 

电解抛光

 

亚光处理

 

水处理设备喷砂车间1

 

控制箱的制作

 

控制箱的制作

 

水质分析检查

 

水质分析实验室1

 

TOC降解器出货包装




展会及客户

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