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TOC降解器

超纯水制备中,TOC(总有机碳)的降解重要,采用UV-185nm低压紫外技术,并结合UV-254nm紫外线杀.菌器,能够通过高剂量的UV-185nm紫外光催化,在水中产生羟基自由基,对水中的有机物进行氧化降解,以降水中的TOC含量。

产品简介:

超纯水制备中,TOC(总有机碳)的降解重要,采用UV-185nm低压紫外技术,并结合UV-254nm紫外线杀.菌器,能够通过高剂量的UV-185nm紫外光催化,在水中产生羟基自由基,对水中的有机物进行氧化降解,以降水中的TOC含量。


产品特点:

● 响应时间少于5min,可达到氧化;

● 样品的成分和氧化过程产生的副产品不会造成干扰;

● 使用可靠的NDIR技术,保证在低浓度的情况下测量的准确度;

● 先进的自诊断功能,自清洗系统。

● 检出限为5μg/L,专为凝结水回用设计。


工作原理:

TOC降解器中装有可产生185nm波长的紫外灯管,当纯水用185nm紫外光直接照射时,水中TOC与光子直接碰撞的几率很低,靠水中TOC杂质直接吸收185nm紫外光光子能量再分解并形成C02逸出是很困难的,所以可以认为185nm紫外光降解水中TOC时185nm紫外光先与水作用,引起水的均裂反应, 因而185nm紫外光照射水时,在185nm紫外光所能照射的范围内可以产生中间体HO-,H·和eaq(水合电子),这些活性中间体再与水中有机物发生亲电、亲核或电子转移反应,引起水中有机物的降解和矿化,并降TOC浓度。


TOC降解器


为什么会使用185nm波长:

目前超大规模集成电路的生产和研究水平的需要,为使TOC的含量小于15μg/L或小于3μg/L,首先在高纯水设备中用185nm紫外线照射,使水中TOC降到小于3μg/L,解决了兆位电路及大直径硅片用高纯水的关键技术难题。若不用185nm紫外线照射,目前高纯水中TOC较好的只能做到20~50μg/L。

185nm紫外线是一种波长较短、能量较高的超紫外线,其能量相当于6.7eV,而一般用于高纯水中的为254nm波长的紫外线,其能量相当于4.88eV,对于这两种紫外线去除有机物,下图列出某些有机物化学键的键能及相应的波长。


化学键的键能表:


化学键

键能

化学键

键能

kj.mol-1

/eV

波长/nm

kj.mol-1

/eV

波长/nm

C-C

C=C

C=C

C-F

C-CI

C-H

C-O

347.5

615.5

812.2

489.8

326.6

414.5

360.1

3.6

6.4

8.4

5.1

3.4

4.3

3.7

344

194

148

243

364

288

335

C-O

C-N

C-N

C-S

C-O

C-H

Si-O

728.5

305.6

824.8

477.3

594.5

467.1

467.1

7.6

3.2

6.4

4.9

6.2

4.8

4.8

163

387

194

253

200

258

258


根据上图所列各种化学键,若用185nm紫外线,除C≡C,C=O键外,其余化学键的键能均小于6.7eV,均能被破坏。若用254nm紫外线,其键能为4.88eV,那么C=C、C≡C、C-F、C=O、C=N、C=S、N-O键的键能均大于4.88eV,都不能被破坏,而O-H、Si-O键的键能与254nm紫外线接近,也不易被破坏,因此许多有机物在185nm紫外线下被破坏,而在254nm波长的紫外线下不能被破坏,这就是185nm紫外线更能有效降水中的TOC的道理。利用这一键能理论,以185nm紫外线照射高纯水应降TOC,使兆位电路用水TOC下降到小于3μg/L,并成功地用于ULSI和直径200mm硅片及硬盘磁头生产中。

主要功能及特征:

a、用于超纯水制配中TOC降解。

b、紫外线TOC降解设备必须安装混床,以保证不增加新的TOC及恢复水中的电解氯

c、TOC降解的幅度取决于水中TOC的构成情况及紫外线TOC降解设备剂量设计。紫外线TOC降解设备能够使TOC降到10ppb。


适用范围:TOC分析仪适用于化工、石化和电厂凝结水回用的TOC分析


案例现场:

应用:EDI生产线

客户:通用电气水处理技术有限公司

余姚现场 (6).jpg

优势:脱除TOC效率大于60%,性能稳定可靠

概述:处理水量15T/H

项目概况:通用电气公司(GE)是多元化服务性公司,500强之中位居前列。

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