臭氧用于水处理的过程，是臭氧从气相到液相的传质过程，亦是溶于水中的臭氧同水中无机物、有机物起氧化反应的过程。受传质速度控制的污染物去除时，应选用传质效率高的装置如螺旋混合器，蜗轮注入器、水喷射器等。受化学反应速度控制的污染物去除时，宜选用可较长时间保持一定溶解氧深度的接触反应装置，如鼓泡式接触氧化塔，这样能适应臭氧和污染物进行缓慢化学反应，达到分解降解污染物的目的。